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日本nasgiken微量金屬污染物自動回收裝置 NAC-302●硅片的處理過程是自動化的,從氣相分解到污染物回收再到收集樣品的稀釋。●疏水性和親水性晶圓均可收集(斜面收集只能收集疏水性晶圓)。●當需要同時對大量晶圓進行采樣和分析時,這是一種極其強大的設(shè)備。●具有對回收的藥液進行計量和稀釋的功能,防止晶圓上殘留的藥液繼續(xù)作業(yè)。
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日本nasgiken微量金屬污染物自動回收裝置 NAC-302 特點介紹
●硅片的處理過程是自動化的,從氣相分解到污染物回收再到收集樣品的稀釋。
●疏水性和親水性晶圓均可收集(斜面收集只能收集疏水性晶圓)。
●當需要同時對大量晶圓進行采樣和分析時,這是一種極其強大的設(shè)備。
●具有對回收的藥液進行計量和稀釋的功能,防止晶圓上殘留的藥液繼續(xù)作業(yè)。
●雙門結(jié)構(gòu),防止工作空間內(nèi)的酸性氣氛和工人的污染。
●配備自動清潔取樣用支架的功能,減少操作員的工作量(*前支架和側(cè)支架兼容)。
我們還擁有全自動執(zhí)行“批量蝕刻→晶圓污染恢復"的設(shè)備(NAC-304)。
此外,近年來,為了減少污染,對能夠執(zhí)行“整體蝕刻→晶片污染回收→ICP-MS連接和自動元素分析"整個過程的設(shè)備的需求非常高(NAC-316)。
日本nasgiken微量金屬污染物自動回收裝置 NAC-302 規(guī)格參數(shù)
設(shè)備名稱 NAC-302 NAC-304 NAC-316
兼容晶圓尺寸 125毫米、150毫米、
200毫米、300毫米 125毫米、150毫米、
200毫米、300毫米 300毫米
內(nèi)置電腦
外形尺寸(寬×深×高)(毫米)(*1)1850×1350×20002000×1500×20001700×2800×2300
使用設(shè)備酸排放、一般廢氣、酸廢氣
使用地點無塵室內(nèi)部
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002