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日商精光nisshooptical光學(xué)系統(tǒng)測(cè)量深高度 AFM-30這是一種新型深度和高度測(cè)量裝置,結(jié)合了使用光切割的狹縫圖像觀(guān)察和使用聚光圖像的AF(自動(dòng)對(duì)焦)跟蹤。連續(xù)跟蹤自動(dòng)對(duì)焦驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)快速、易于使用的測(cè)量,并具有高重復(fù)性。由于該方法在觀(guān)察狹縫圖像投影的臺(tái)階形狀的同時(shí)進(jìn)行測(cè)量,因此可以實(shí)時(shí)識(shí)別測(cè)量屏幕上的高度,從而輕松確定需要測(cè)量的區(qū)域。
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日商精光nisshooptical光學(xué)系統(tǒng)測(cè)量深高度 AFM-30 特點(diǎn)介紹
這是一種新型深度和高度測(cè)量裝置,結(jié)合了使用光切割的狹縫圖像觀(guān)察和使用聚光圖像的AF(自動(dòng)對(duì)焦)跟蹤。
連續(xù)跟蹤自動(dòng)對(duì)焦驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)快速、易于使用的測(cè)量,并具有高重復(fù)性。
由于該方法在觀(guān)察狹縫圖像投影的臺(tái)階形狀的同時(shí)進(jìn)行測(cè)量,因此可以實(shí)時(shí)識(shí)別測(cè)量屏幕上的高度,從而輕松確定需要測(cè)量的區(qū)域。
這是一種狹縫圖像、點(diǎn)光圖像和電子線(xiàn)參考線(xiàn)的中心在測(cè)量點(diǎn)處都重合的測(cè)量系統(tǒng),通過(guò)檢查錯(cuò)位,可以防止測(cè)量值錯(cuò)誤。
光切割仰角可根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)合從標(biāo)準(zhǔn)90°至30°、60°、120°中選擇。
日商精光nisshooptical光學(xué)系統(tǒng)測(cè)量深高度 AFM-30 規(guī)格參數(shù)
■ 觀(guān)察方法
光學(xué)切割法(利用狹縫光學(xué)系統(tǒng)測(cè)量深度和高度)
■ 物鏡
固定放大倍率:10倍(也可提供5倍和20倍)
■ Z軸驅(qū)動(dòng)方式
使用聚光燈的 AF 連續(xù)跟蹤方法(可離線(xiàn)手動(dòng)測(cè)量)
■ 投影狹縫
10μm半反射鏡型
■ Z軸測(cè)量
Z軸數(shù)字線(xiàn)性規(guī)0.1μm讀數(shù)
■ 重復(fù)性
±1μm以?xún)?nèi)
■ 使用的光源
半導(dǎo)體激光器(2級(jí))、鹵素光源
清晰顯示深度、高度和水平差的光學(xué)切割方法...自動(dòng)捕捉代表橫截面形狀的細(xì)縫光、紅色激光點(diǎn)和水平差的變化,Z軸功能快速跟隨,并以數(shù)字方式記錄測(cè)量值。這是一種新型深度/高度測(cè)量裝置,結(jié)合了顯示功能(自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng))和電子線(xiàn)法參考線(xiàn),擴(kuò)大了測(cè)量范圍,增加了其實(shí)用價(jià)值。
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