PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類TECHNICAL ARTICLES
相關(guān)文章產(chǎn)品展示/ Product display
日本YUTAKA高壓流量計壓力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-COL21系列是專為使用高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計的產(chǎn)品?;窘Y(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭,基本性能較L20系列有所提高。該產(chǎn)品具有優(yōu)異的外漏和顆粒性能,是氣缸柜的理想選擇。
聯(lián)系電話:13823182047
日本YUTAKA高壓流量計壓力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-CO 特點介紹
L21系列是專為使用高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計的產(chǎn)品?;窘Y(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭,基本性能較L20系列有所提高。
該產(chǎn)品具有優(yōu)異的外漏和顆粒性能,是氣缸柜的理想選擇。
■壓力表連接接頭的尺寸和形狀為1/4"面密封接頭的雄性為標(biāo)準。
·入口出口接頭的種類尺寸和形狀(雄性、雌性)的組合可從產(chǎn)品編號表中顯示的組合中進行選擇。
■UJR®、VCR®、CVC®以外的接頭的面間尺寸可能與標(biāo)準面間尺寸不同。
日本YUTAKA高壓流量計壓力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-CO 規(guī)格參數(shù)
入口壓力14.8MPa以下(最大24MPa)
調(diào)節(jié)壓力Max.0.99MPa
(范圍規(guī)格:0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa)
氣源壓力波動進口壓力:每0.1MPa,調(diào)節(jié)壓力變化0.0005MPa以下
承受壓力31.5MPa(入口側(cè))、1.5MPa(調(diào)節(jié)側(cè))
CV值0.09
工作溫度-10~+40℃
外漏1×10-11Pa·m3/s·He(真空法)
內(nèi)部容積4.75cm(3個壓力表,不含接頭) 4.75cm(3個壓力表,不含接頭)
大量的約1.4公斤
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002