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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-COL20系列是專為高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。基本結(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭，使其成為具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。此外，我們還提供多種選擇來(lái)容納各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。
產(chǎn)品型號(hào)：L20SS/L20SH/L20SS-CO廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2024-10-09訪 問 量：137
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日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 特點(diǎn)介紹
L20系列是專為高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品?；窘Y(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭，使其成為具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。
此外，我們還提供多種選擇來(lái)容納各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。
日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 規(guī)格參數(shù)
入口壓力 14.8MPa以下（最大19.6MPa）
調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa
（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa）
氣源壓力波動(dòng) 入口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化量0.00021MPa
承受壓力 22.2MPa（進(jìn)口側(cè)）
CV值 0.09
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）
內(nèi)部容積 4.67cm（不含3個(gè)壓力表及接頭）
大量的 約1.29公斤
主體SUS316L
調(diào)節(jié)閥桿/閥座SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L
隔膜哈氏合金®C-22 SUS316L
閥座PCTFE（Daiflon®）
緩沖彈簧不銹鋼316 哈氏合金® 不銹鋼316
壓力表連接密封墊片你 不銹鋼316
非氣體接觸部分
閥蓋 (A)不銹鋼316
發(fā)動(dòng)機(jī)罩 (B)黃銅（鍍鎳）
帽SUS304
郵箱：akiyama_zhou@163.com
傳真：
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