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日本IKC手動型波紋管式直導入機超高真空用 ILD-34M/ILD-70M/ILD-114M 直進機是一種使真空中的設備、設備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側直線前進的產(chǎn)品。用于升降基板臺、輸送晶圓等。

日本進口tecsam超高真空推拉式直線導入機 PLM25-133/PLM25-275 這是一款可在超高真空下使用的推拉式直線導入機。 推拉旋鈕可前后移動軸。 真空側是使用超高真空潤滑劑（Krytox）的薄膜軸承，大氣側是使用高溫Krytox的軸承。

日本tecsam超高真空旋轉直線導入機薄膜軸承 RLM25-133/RLM25-275 這是一款可在超高真空條件下使用的旋轉直線導入機。 通過旋轉手柄的末端，您可以前后移動軸。 真空側是使用超高真空潤滑劑（Krytox）的薄膜軸承，大氣側是使用高溫Krytox的軸承。