PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本IKC波紋管式緊湊型直線送料機(jī)導(dǎo)入機(jī) ILC-34-10/34-15/34-20系列直進(jìn)機(jī)是一種使真空中的設(shè)備、設(shè)備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線前進(jìn)的產(chǎn)品。用于升降基板臺(tái)、輸送晶圓等。
聯(lián)系電話:13823182047
日本IKC波紋管式緊湊型直線送料機(jī)導(dǎo)入機(jī) ILC-34-10/34-15/34-20系列 特點(diǎn)介紹
直進(jìn)機(jī)是一種使真空中的設(shè)備、設(shè)備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線前進(jìn)的產(chǎn)品。用于升降基板臺(tái)、輸送晶圓等。
入江工研的直線送料機(jī)有波紋管密封型和磁力密封型兩種類型,并配有手動(dòng)和自動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),提供滿足各種需求的產(chǎn)品。
我們的焊接波紋管是內(nèi)置的,行程標(biāo)準(zhǔn)化為 10 至 200 毫米。
驅(qū)動(dòng)部分密封采用焊接波紋管,因此可用于超高真空領(lǐng)域。
它的結(jié)構(gòu)極其簡單,注重功能,使其體積小、重量輕。手動(dòng)型設(shè)計(jì)可承受250℃烘烤溫度。
1. 內(nèi)置入江工研制造的焊接波紋管,標(biāo)準(zhǔn)化行程為10mm、15mm、20mm。
2. 比我們的波紋管式直導(dǎo)入機(jī)(ILD系列)更加緊湊。
日本IKC波紋管式緊湊型直線送料機(jī)導(dǎo)入機(jī) ILC-34-10/34-15/34-20系列 規(guī)格參數(shù)
ILC-34-10ILC-34-15ILC-34-20
中風(fēng)10毫米 15毫米 20毫米
連接法蘭CF34
驅(qū)動(dòng)方式手動(dòng)的
泄漏量1×10 -10 Pa·m 3 /s以下
烘烤溫度250℃
主要使用材料SUS304
波紋管材質(zhì)SUS316L
直進(jìn)機(jī)是一種使真空中的設(shè)備、設(shè)備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線前進(jìn)的產(chǎn)品。用于升降基板臺(tái)、輸送晶圓等。
入江工研的直線送料機(jī)有波紋管密封型和磁力密封型兩種類型,并配有手動(dòng)和自動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),提供滿足各種需求的產(chǎn)品。
我們的焊接波紋管是內(nèi)置的,行程標(biāo)準(zhǔn)化為 10 至 200 毫米。
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號(hào)和健云谷2棟10層1002