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日本nasgiken收集微量金屬污染物回收設(shè)備 SC-3100●連接至PC以創(chuàng)建各種收集模式,并從硅晶片的表面和側(cè)面(斜角部分)收集(樣品)微量金屬污染物。●設(shè)備安裝方便,不需要太多外部資源,不占用太多空間。●由于工作是機(jī)械完成的,因此不需要操作員技能,任何人都可以輕松取樣。●由于設(shè)備自動(dòng)供給取樣化學(xué)品并移動(dòng)支架,因此與SC-2000相比,可以減少工人造成的污染。
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日本nasgiken收集微量金屬污染物回收設(shè)備 SC-3100 特點(diǎn)介紹
SC-3100
●連接至PC以創(chuàng)建各種收集模式,并從硅晶片的表面和側(cè)面(斜角部分)收集(樣品)微量金屬污染物。
●設(shè)備安裝方便,不需要太多外部資源,不占用太多空間。
●由于工作是機(jī)械完成的,因此不需要操作員技能,任何人都可以輕松取樣。
●由于設(shè)備自動(dòng)供給取樣化學(xué)品并移動(dòng)支架,因此與SC-2000相比,可以減少工人造成的污染。
SC-8100
●具有即使在親水狀態(tài)的晶圓上也能收集污染物的功能,并且可以對(duì)硅以外的材料制成的晶圓或因體蝕刻等而導(dǎo)致表面變得粗糙的晶圓進(jìn)行采樣。
●放寬了對(duì)晶圓條件和采樣化學(xué)品類(lèi)型的限制,使得可以回收重金屬以外的離子。
●當(dāng)然,傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。
SC-9100
●具有即使是親水狀態(tài)的晶圓也能捕集污染物的功能,可對(duì)硅以外的材料的晶圓或因整體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓進(jìn)行取樣。
●放寬了對(duì)晶圓條件和采樣化學(xué)品類(lèi)型的限制,使得可以回收重金屬以外的離子。
●當(dāng)然,傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。
●由于設(shè)備自動(dòng)供給取樣化學(xué)品并移動(dòng)支架,因此與SC-8100相比,可以減少工人造成的污染。
日本nasgiken收集微量金屬污染物回收設(shè)備 SC-3100 規(guī)格參數(shù)
設(shè)備名稱(chēng) SC-3100 SC-8100 SC-9100
手術(shù) 電腦 (*3)
安裝/拆卸固定器 自動(dòng)的 手動(dòng)的 自動(dòng)的
供應(yīng)取樣用化學(xué)溶液 自動(dòng)的 手動(dòng)的 自動(dòng)的
化學(xué)溶液取樣采集 自動(dòng) (*1) 手動(dòng)的 自動(dòng)的
基本采集模式 環(huán)形、扇形、固定、半徑、圓弧
追加收集圖案(*1) 橫向、矩形、弧形
定向平整處理(*2) 添加到環(huán)形、固定半徑、側(cè)面檢索模式
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號(hào)和健云谷2棟10層1002