PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
Adwill-Global紫外線研磨用表面保護膠帶 E系列紫外線硬化型研磨用表面保護膠帶 Adwill E系列可在背面研磨時為晶圓正面提供可靠保護,防止研磨水或殘渣侵入污染晶圓正面。膠帶通過紫外線照射后,粘著力會大幅度弱化,方便從晶圓上剝離, 因此不會給晶圓造成壓力,同時適用于大尺寸、薄型晶圓的加工。
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Adwill-Global紫外線研磨用表面保護膠帶 E系列 特點介紹
紫外線硬化型研磨用表面保護膠帶 Adwill E系列可在背面研磨時為晶圓正面提供可靠保護,防止研磨水或殘渣侵入污染晶圓正面。
膠帶通過紫外線照射后,粘著力會大幅度弱化,方便從晶圓上剝離, 因此不會給晶圓造成壓力,同時適用于大尺寸、薄型晶圓的加工。
Adwill-Global紫外線研磨用表面保護膠帶 E系列 規(guī)格參數(shù)
1.設備的高可靠性
晶圓表面的污染極小,因此背面研磨后無需進行晶圓清洗。
2.高潔凈度等級
粘著加工環(huán)境達到100級(以美國聯(lián)邦標準209b為基準)。
適用于帶錫球晶圓 和 薄型晶圓的膠帶產(chǎn)品
1.控制背面研磨后晶圓的翹曲、適用于錫球晶圓
通過在膠帶中增加應力緩沖性能,防止因膠帶貼合時產(chǎn)生的殘余應力所導致的背面研磨后晶圓翹曲。此外,利用錫球晶圓研磨時, 通過即使驅(qū)散產(chǎn)生的應力,以防止晶圓破損和晶圓研磨紋的產(chǎn)生,同時提高晶圓研磨厚度的均一性。
2.提高晶圓厚度的精度(T.T.V.*)
提高研磨后晶圓厚度的均一性膠帶具有良好的厚度均一性,可以保持背面研磨后的晶圓厚度精度。*T.T.V.=全局厚度公差
紫外線硬化型研磨用表面保護膠帶 Adwill E系列可在背面研磨時為晶圓正面提供可靠保護,防止研磨水或殘渣侵入污染晶圓正面。
膠帶通過紫外線照射后,粘著力會大幅度弱化,方便從晶圓上剝離, 因此不會給晶圓造成壓力,同時適用于大尺寸、薄型晶圓的加工。
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