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日本vaclab超低氣體排放分析儀低輻射熱導(dǎo)率 WATMASS MPH 100M■低輻射/高導(dǎo)熱率0.2%BeCu合金離子源法蘭,減少燈絲熱量的影響,實現(xiàn)超低氣體排放RGA,可在10 -10Pa范圍內(nèi)進行氣體分析■Ptlr合金柵+強電子轟擊脫氣通過這種機制,與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比,氫氣和ESD的偽峰值降低到1/1000以下。
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日本vaclab超低氣體排放分析儀低輻射熱導(dǎo)率 WATMASS MPH 100M 特點介紹
■低輻射/高導(dǎo)熱率0.2%BeCu合金離子源法蘭,減少燈絲熱量的影響,實現(xiàn)超低氣體排放RGA,可在10 -10Pa范圍內(nèi)進行氣體分析
■Ptlr合金柵+強電子轟擊脫氣通過這種機制,與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比,氫氣和ESD的偽峰值降低到1/1000以下。
■所有組件均在電爐中拆卸和脫氣。
日本vaclab超低氣體排放分析儀低輻射熱導(dǎo)率 WATMASS MPH 100M 規(guī)格參數(shù)
當(dāng)使用閥門關(guān)閉并且不使用排氣泵時, WATMASS 可以保持 10 -7 Pa的真空長達一年。這意味著即使燈絲打開,從傳感器釋放的氣體也小于質(zhì)量分析中因電離(泵送作用)而損失的氣體量。通過大幅降低氣體排放,我們實現(xiàn)了迄今為止不可想象的新氣體分析應(yīng)用。
通過將 WATMASS 與由 0.2%BeCu 合金(一種具有低輻射和高熱導(dǎo)率的低氣體排放材料)制成的測量系統(tǒng)相結(jié)合,可以通過簡單的樣品加熱機制進行各種新的氣體分析。換句話說,由于腔室和 RGA 不吸收從加熱機構(gòu)發(fā)出的紅外輻射,因此不存在熱擾動,并且可以進行真實的氣體分析。另外,通過在排氣泵和腔室之間連接金屬閥門,并在腔室排氣后關(guān)閉閥門以將其密封,可以進行超痕量氣體分析。
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