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日本filgen碳鍍膜機(jī)涂層系統(tǒng)快速響應(yīng)高性能 11427-AB●節(jié)省空間/臺式濺射鍍膜機(jī)●快速鍍膜(金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A)——對樣品無熱損傷。●可濺射/蝕刻●可以通過移動樣品臺來調(diào)整到目標(biāo)的距離。●惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺冷卻●提供各種靶材(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)(可選)
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日本filgen碳鍍膜機(jī)涂層系統(tǒng)快速響應(yīng)高性能 11427-AB 特點(diǎn)介紹
●節(jié)省空間/臺式濺射鍍膜機(jī)
●快速鍍膜(金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A)——對樣品無熱損傷。
●可濺射/蝕刻
●可以通過移動樣品臺來調(diào)整到目標(biāo)的距離。
●惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺冷卻
●提供各種靶材(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)(可選)
● CE、RoHS(有害物質(zhì)限制):符合歐盟有害物質(zhì)法規(guī)
● 多種組合可實(shí)現(xiàn)多種選擇(*見下文)
例) ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監(jiān)視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監(jiān)視器
日本filgen碳鍍膜機(jī)涂層系統(tǒng)快速響應(yīng)高性能 11427-AB 規(guī)格參數(shù)
尺寸 260(寬)×310(深)×150(高)毫米
沉積頭 碳纖維頭(標(biāo)配)
碳桿頭
氣相沉積用碳 碳纖維(標(biāo)準(zhǔn)碳蒸發(fā)頭用)、
碳棒(碳蒸發(fā)頭用)
模型 11427-AB
電源 AC110V 50Hz(60Hz)
作品 真空控制基座單元
碳涂層機(jī)模塊(帶碳纖維頭)
● 節(jié)省空間/臺式濺射鍍膜機(jī)
● 快速鍍膜(金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A)——對樣品無熱損傷。
● 可濺射/蝕刻
● 可以通過移動樣品臺來調(diào)整到目標(biāo)的距離。
● 惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺冷卻
●提供各種靶材(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)(可選)
● CE、RoHS(有害物質(zhì)限制):符合歐盟有害物質(zhì)法規(guī)
● 多種組合可實(shí)現(xiàn)多種選擇(*見下文)
例) ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監(jiān)視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監(jiān)視器
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