PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
Entegris壓力傳感器耐腐蝕化學(xué)品高精度測(cè)量 Entegris 4100/4150型無(wú)論您是為了自動(dòng)化、過(guò)程控制還是安全而測(cè)量壓力,您的測(cè)量都必須干凈、準(zhǔn)確且可靠。為了滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求,Entegris 將最新的電子傳感器技術(shù)與高度清潔的材料相結(jié)合,生產(chǎn)出能夠?qū)に囎兓M(jìn)行高度控制的先進(jìn)產(chǎn)品。
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Entegris壓力傳感器耐腐蝕化學(xué)品高精度測(cè)量 Entegris 4100/4150型 特點(diǎn)介紹
4100型
無(wú)論您是為了自動(dòng)化、過(guò)程控制還是安全而測(cè)量壓力,您的測(cè)量都必須干凈、準(zhǔn)確且可靠。
為了滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求,Entegris 將最新的電子傳感器技術(shù)與高度清潔的材料相結(jié)合,生產(chǎn)出能夠?qū)に囎兓M(jìn)行高度控制的先進(jìn)產(chǎn)品。
在高純度應(yīng)用中可靠測(cè)量腐蝕性化學(xué)品和 CMP 漿料中的壓力
所有裝置在發(fā)貨前均經(jīng)過(guò)功能測(cè)試,精度為滿量程的 1%
無(wú)活動(dòng)部件,減少顆粒產(chǎn)生
接液部件采用 PTFE、PFA、CTFE 和 Kalrez®,適用于高純度應(yīng)用
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) Flaretek® 連接減少了池化和占地面積。它還允許靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)并且易于安裝。
4150型
可用于氫氟酸和負(fù)壓
使用耐化學(xué)腐蝕的藍(lán)寶石壓力傳感器準(zhǔn)確可靠地測(cè)量惰性氣體真空
監(jiān)控過(guò)程條件可提高安全性和系統(tǒng)性能
所有裝置在發(fā)貨前均經(jīng)過(guò)功能測(cè)試,精度為滿量程的 1%
可連接電子顯示/監(jiān)控系統(tǒng)
無(wú)移動(dòng)部件,無(wú)填充液,消除了污染的可能性
非金屬傳感器技術(shù)可實(shí)現(xiàn)可靠的測(cè)量
接液部件為 PTFE、藍(lán)寶石和 Kalrez®,適用于高純度應(yīng)用
緊湊的設(shè)計(jì)使安裝變得容易
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) Flaretek® 連接減少了池化和占地面積。它還允許靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)并且易于安裝。
Entegris壓力傳感器耐腐蝕化學(xué)品高精度測(cè)量 Entegris 4100/4150型 規(guī)格參數(shù)
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