Entegris壓力傳感器耐腐蝕化學品高精度測量 Entegris 4100/4150型 特點介紹

4100型

無論您是為了自動化、過程控制還是安全而測量壓力，您的測量都必須干凈、準確且可靠。

為了滿足半導體行業(yè)的需求，Entegris 將最新的電子傳感器技術(shù)與高度清潔的材料相結(jié)合，生產(chǎn)出能夠?qū)に囎兓M行高度控制的先進產(chǎn)品。

在高純度應(yīng)用中可靠測量腐蝕性化學品和 CMP 漿料中的壓力

所有裝置在發(fā)貨前均經(jīng)過功能測試，精度為滿量程的 1%

無活動部件，減少顆粒產(chǎn)生

接液部件采用 PTFE、PFA、CTFE 和 Kalrez®，適用于高純度應(yīng)用

行業(yè)標準 Flaretek® 連接減少了池化和占地面積。它還允許靈活的系統(tǒng)設(shè)計并且易于安裝。

4150型

可用于氫氟酸和負壓

使用耐化學腐蝕的藍寶石壓力傳感器準確可靠地測量惰性氣體真空

監(jiān)控過程條件可提高安全性和系統(tǒng)性能

所有裝置在發(fā)貨前均經(jīng)過功能測試，精度為滿量程的 1%

可連接電子顯示/監(jiān)控系統(tǒng)

無移動部件，無填充液，消除了污染的可能性

非金屬傳感器技術(shù)可實現(xiàn)可靠的測量

接液部件為 PTFE、藍寶石和 Kalrez®，適用于高純度應(yīng)用

緊湊的設(shè)計使安裝變得容易

行業(yè)標準 Flaretek® 連接減少了池化和占地面積。它還允許靈活的系統(tǒng)設(shè)計并且易于安裝。

Entegris壓力傳感器耐腐蝕化學品高精度測量 Entegris 4100/4150型 規(guī)格參數(shù)