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產(chǎn)品分類TECHNICAL ARTICLES
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美國Entegris高性能液體濃度計(jì)化學(xué)機(jī)械拋光 Entegris CR288型折反射方法提供的準(zhǔn)確性和響應(yīng)時(shí)間低成本、高性能濃度計(jì)使您能夠監(jiān)控 BEOL、FEOL 和子晶圓廠中的化學(xué)配方和輸送系統(tǒng)，以提高工藝效率。 隨附的 288 Connect 軟件可在幾分鐘內(nèi)完成現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，從而降低擁有成本緊湊的設(shè)計(jì)允許在化學(xué)管道中在線安裝
產(chǎn)品型號(hào)：CR288型廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2024-10-11訪 問 量：266
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美國Entegris高性能液體濃度計(jì)化學(xué)機(jī)械拋光 Entegris CR288型 特點(diǎn)介紹
折反射方法提供的準(zhǔn)確性和響應(yīng)時(shí)間
低成本、高性能濃度計(jì)使您能夠監(jiān)控 BEOL、FEOL 和子晶圓廠中的化學(xué)配方和輸送系統(tǒng)，以提高工藝效率。
隨附的 288 Connect 軟件可在幾分鐘內(nèi)完成現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，從而降低擁有成本
緊湊的設(shè)計(jì)允許在化學(xué)管道中在線安裝
利用Inview CR288液體濃度計(jì)的在線實(shí)時(shí)折射率測(cè)量技術(shù)，可以在以下測(cè)量點(diǎn)（最多4個(gè)位置）監(jiān)測(cè)化學(xué)溶液。
清潔 BEOL 和 FEOL
化學(xué)機(jī)械拋光
電鍍
光刻法等
美國Entegris高性能液體濃度計(jì)化學(xué)機(jī)械拋光 Entegris CR288型 規(guī)格參數(shù)
傳感器部分： 流通池 改性聚四氟乙烯*
濕透的窗戶 半導(dǎo)體級(jí)藍(lán)寶石*
電纜連接器 聚丙烯/聚偏氟乙烯
引擎蓋 聚丙烯
安裝板 聚偏氟乙烯
傳感器使用條件： 流體壓力 0 - 0.55 兆帕
流體溫度 5°C - 50°C
流體折射角 1.28000 至 1.40000 **
直達(dá)： 電源 24 VDC (± 5%), 0.5 A 或以上
電源（使用適配器時(shí)） 110/240VAC，50/60±3Hz
串行端口 RS-232
模擬輸出 4 - 20 mA（溫度和濃度），每個(gè) DDU 最多 4 個(gè)傳感器
郵箱：akiyama_zhou@163.com
傳真：
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