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產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
美國Entegris高性能液體濃度計化學(xué)機(jī)械拋光 Entegris CR288型折反射方法提供的準(zhǔn)確性和響應(yīng)時間低成本、高性能濃度計使您能夠監(jiān)控 BEOL、FEOL 和子晶圓廠中的化學(xué)配方和輸送系統(tǒng),以提高工藝效率。 隨附的 288 Connect 軟件可在幾分鐘內(nèi)完成現(xiàn)場校準(zhǔn),從而降低擁有成本緊湊的設(shè)計允許在化學(xué)管道中在線安裝
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美國Entegris高性能液體濃度計化學(xué)機(jī)械拋光 Entegris CR288型 特點(diǎn)介紹
折反射方法提供的準(zhǔn)確性和響應(yīng)時間
低成本、高性能濃度計使您能夠監(jiān)控 BEOL、FEOL 和子晶圓廠中的化學(xué)配方和輸送系統(tǒng),以提高工藝效率。
隨附的 288 Connect 軟件可在幾分鐘內(nèi)完成現(xiàn)場校準(zhǔn),從而降低擁有成本
緊湊的設(shè)計允許在化學(xué)管道中在線安裝
利用Inview CR288液體濃度計的在線實(shí)時折射率測量技術(shù),可以在以下測量點(diǎn)(最多4個位置)監(jiān)測化學(xué)溶液。
清潔 BEOL 和 FEOL
化學(xué)機(jī)械拋光
電鍍
光刻法等
美國Entegris高性能液體濃度計化學(xué)機(jī)械拋光 Entegris CR288型 規(guī)格參數(shù)
傳感器部分: 流通池 改性聚四氟乙烯*
濕透的窗戶 半導(dǎo)體級藍(lán)寶石*
電纜連接器 聚丙烯/聚偏氟乙烯
引擎蓋 聚丙烯
安裝板 聚偏氟乙烯
傳感器使用條件: 流體壓力 0 - 0.55 兆帕
流體溫度 5°C - 50°C
流體折射角 1.28000 至 1.40000 **
直達(dá): 電源 24 VDC (± 5%), 0.5 A 或以上
電源(使用適配器時) 110/240VAC,50/60±3Hz
串行端口 RS-232
模擬輸出 4 - 20 mA(溫度和濃度),每個 DDU 最多 4 個傳感器
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002