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日本ceramic forum晶片內(nèi)位錯檢測儀便攜式 Crystalline Tester CS1"Crystalline Tester CS1"是非破壞性、非接觸式檢測可見光(波長400~800nm)透明性晶體材料中由于殘留的缺陷、應力引起的晶格畸變后分布情況的便捷式檢測設備。通過本設備可以實現(xiàn)快速、準確地把握目檢下無法看到的晶體晶格畸變的狀態(tài)。
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日本ceramic forum晶片內(nèi)位錯檢測儀便攜式 Crystalline Tester CS1 特點介紹
"Crystalline Tester CS1"是非破壞性、非接觸式檢測可見光(波長400~800nm)透明性晶體材料中由于殘留的缺陷、應力引起的晶格畸變后分布情況的便捷式檢測設備。
通過本設備可以實現(xiàn)快速、準確地把握目檢下無法看到的晶體晶格畸變的狀態(tài)。
日本ceramic forum晶片內(nèi)位錯檢測儀便攜式 Crystalline Tester CS1 規(guī)格參數(shù)
產(chǎn)品特長 高速測量(6" 襯底 90秒)
?可以最快速度簡捷方式觀察殘留應力分布。
縱向結(jié)晶評價
?因為是透視型結(jié)晶評價裝置,所以不只可以觀察襯底表面,還可以觀察包括Z軸方向的晶圓所有部位。
可取得與X-Ray Topography imaging comparison同等測試效果
?可以取得同等測試效果,實現(xiàn)高速低成本。
價格競爭力
?在晶片測量裝置中,屬于性價比好的一款系統(tǒng)。
可測量材料 SiC單晶襯底、及SiC外延襯底
GaN單晶襯底、及GaN外延襯底
AlN單晶襯底、及AlN外延襯底
可視光可透視、有雙折射效果的結(jié)晶均可。
測試效果不佳材料 ?無可視光透視性材料:Si、GaAs等
?無雙折射效果材料:藍寶石、Ga2O3 等
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002