日本kitzsct低壓金屬隔膜閥分流器耐高溫 KD-K系列 特點(diǎn)介紹

這是一款全金屬隔膜閥，可承受高達(dá)250°C的環(huán)境溫度。所有部件，包括執(zhí)行器以及與氣體接觸的部件，均設(shè)計(jì)為能夠在高溫環(huán)境下使用。

◎通過將車身縱孔尺寸最小化，將內(nèi)容積縮小至1.4cm（1/4"CVC雄型Open時(shí)），實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的氣體置換特性。

◎通過氣體接觸部密封結(jié)構(gòu)，追求的密封性能和高耐久化、脫氣性能、耐腐蝕性能。

◎通過嚴(yán)格挑選的隔膜材料的高耐腐蝕性能的成型方法加工，最大限度地消除了個(gè)體差異，實(shí)現(xiàn)了高耐久性能。

◎通過制造環(huán)境和內(nèi)表面研磨處理，對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體用高純度氣體，將顆粒性能追求極限。

日本kitzsct低壓金屬隔膜閥分流器耐高溫 KD-K系列 規(guī)格參數(shù)

尺寸KD2（1/8"）KD4（1/4"）KD8（1/2"）KD12（3/4"）CV值0.05 0.27 0.7 1.7使用最高壓力0.98MPa（G）接氣部內(nèi)容積※1 PCTFE、PI、PFA 0.23cm3 1.4cm3 7.4cm3 25cm3金屬1.3cm3 7.5cm3不支持使用流體溫度范圍PCTFE-10°C～80°CPFA手動(dòng)閥-10°C～150°C自動(dòng)閥-10°C～120°C（150°C實(shí)際使用50萬次）PI-10°C～150°C金屬（主體材質(zhì)）※3-10°C～200°C不支持環(huán)境溫度范圍-10°C～60°C檢查泄漏量內(nèi)部泄漏PCTFE、PI、PFA1×10-10Pa·m3/s以下金屬3 x 10-10Pa·m3/s以下未對(duì)應(yīng)外部泄漏1×10-10Pa·m3/s以下操作壓力（自動(dòng)閥）0.4～0.7MPa（G）