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日本kitzsct低壓金屬隔膜閥分流器耐高溫 KD-K系列這是一款全金屬隔膜閥,可承受高達(dá)250°C的環(huán)境溫度。所有部件,包括執(zhí)行器以及與氣體接觸的部件,均設(shè)計(jì)為能夠在高溫環(huán)境下使用。
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日本kitzsct低壓金屬隔膜閥分流器耐高溫 KD-K系列 特點(diǎn)介紹
這是一款全金屬隔膜閥,可承受高達(dá)250°C的環(huán)境溫度。所有部件,包括執(zhí)行器以及與氣體接觸的部件,均設(shè)計(jì)為能夠在高溫環(huán)境下使用。
◎通過(guò)將車(chē)身縱孔尺寸最小化,將內(nèi)容積縮小至1.4cm(1/4"CVC雄型Open時(shí)),實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的氣體置換特性。
◎通過(guò)氣體接觸部密封結(jié)構(gòu),追求的密封性能和高耐久化、脫氣性能、耐腐蝕性能。
◎通過(guò)嚴(yán)格挑選的隔膜材料的高耐腐蝕性能的成型方法加工,最大限度地消除了個(gè)體差異,實(shí)現(xiàn)了高耐久性能。
◎通過(guò)制造環(huán)境和內(nèi)表面研磨處理,對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體用高純度氣體,將顆粒性能追求極限。
日本kitzsct低壓金屬隔膜閥分流器耐高溫 KD-K系列 規(guī)格參數(shù)
尺寸KD2(1/8")KD4(1/4")KD8(1/2")KD12(3/4")CV值0.05 0.27 0.7 1.7使用最高壓力0.98MPa(G)接氣部?jī)?nèi)容積※1 PCTFE、PI、PFA 0.23cm3 1.4cm3 7.4cm3 25cm3金屬1.3cm3 7.5cm3不支持使用流體溫度范圍PCTFE-10°C~80°CPFA手動(dòng)閥-10°C~150°C自動(dòng)閥-10°C~120°C(150°C實(shí)際使用50萬(wàn)次)PI-10°C~150°C金屬(主體材質(zhì))※3-10°C~200°C不支持環(huán)境溫度范圍-10°C~60°C檢查泄漏量?jī)?nèi)部泄漏PCTFE、PI、PFA1×10-10Pa·m3/s以下金屬3 x 10-10Pa·m3/s以下未對(duì)應(yīng)外部泄漏1×10-10Pa·m3/s以下操作壓力(自動(dòng)閥)0.4~0.7MPa(G)
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