日本NCC落塵計數(shù)器10μm以上粗顆粒測量裝置 DTSP10-03 特點介紹

一種特殊的測量裝置，可以測量落塵而不是浮塵。對

10μm以上的粗顆粒進行分類和計數(shù)。

即使在無塵室中工作，異物的量也沒有減少。

雖然它是使用粒子計數(shù)器進行管理的，但不可能將其與缺陷關(guān)聯(lián)起來。

我想創(chuàng)造一個干凈的環(huán)境，但不知道如何管理。

我們很難處理從衣服等引入的異物。

日本NCC落塵計數(shù)器10μm以上粗顆粒測量裝置 DTSP10-03 規(guī)格參數(shù)

如果您想減少產(chǎn)品上附著的異物量，則應(yīng)使用落塵計數(shù)器而不是顆粒計數(shù)器進行測量。

原因是

① 導(dǎo)致附著異物的粗顆粒較大，范圍為 10 μm 至 100 μm，無法用顆粒計數(shù)器測量。

② 大顆粒不會漂浮在空氣中，而是沉降并成為落塵。

上面提到了兩個。

此外，ISO14644-17自2021年2月起頒布，可以直接使用引起缺陷的粗顆粒作為管理指標(biāo)。

因此，通過測量落下的灰塵而不是空氣中微小的漂浮灰塵，可以管理附著的異物。

這是一種特殊的測量裝置，可以測量掉落的粗顆粒而不是漂浮的灰塵。

利用樣品收集板（4英寸硅片），利用粗顆粒的沉降特性，對下落的10μm以上的粗顆粒進行分級計數(shù)。

它可以在任何可以放置硅晶圓的地方進行評估。

*硅晶片：圓盤狀樣品板，是表面平整度和耐熱性優(yōu)異的半導(dǎo)體基板。