日本Anelva皮拉尼真空計(jì)耐腐蝕性半導(dǎo)體設(shè)備 M-351PG 特點(diǎn)介紹

該型號使用Ni絲來提高耐腐蝕性，并與RIE和CVD等硬工藝設(shè)備兼容。

半導(dǎo)體、電子器件制造設(shè)備、

干式蝕刻設(shè)備、等離子體CVD設(shè)備、LD-CVD設(shè)備等

食品藥品制造設(shè)備

真空冷凍干燥、真空蒸餾設(shè)備、滅菌設(shè)備等。

日本Anelva皮拉尼真空計(jì)耐腐蝕性半導(dǎo)體設(shè)備 M-351PG 規(guī)格參數(shù)

型號名稱M-351PG-SP

（鎳絲規(guī)格）（帶設(shè)定點(diǎn)型） 

測量壓力范圍5×10 -2 ～ 1×10 5 (Pa) 

精度（帕）±50%：5×10 -2 　～ 1×10 -1

±15%：1×10 -1 　～ 1×10 4

±50%：1×10 4 　～ 1×10 5 

再現(xiàn)性±2%：1×10 -1 　～ 1×10 4 Pa 

輸入電壓直流+14～30V 

能量消耗2W 

模擬輸出0-10V 

表計(jì)識別電阻值13 KΩ（D-sub 引腳 5 和 9 之間） 

設(shè)定點(diǎn)2 個(gè)接點(diǎn)輸出（1 A 30 V，DC） 

界面- 

輸入/輸出連接器D-sub9針 

最大電纜長度兼容200 m (0.34 mm 2 ) *1 

工作溫度限制5～60℃ 

儲存溫度范圍-20 至 70°C（非工作） 

烘烤溫度＜+150 ℃（O型圈規(guī)格，僅測頭）

＜＋300 ℃（金屬密封規(guī)格，僅測頭） 

允許過載壓力1 MPa（僅限于接頭形狀NPT、僅限于惰性氣體、絕壓） 

兼容的皮拉尼傳感器型號名稱MP-2