日本Anelva寬量程電離真空計高精度真空測量 M-833HG 特點(diǎn)介紹

M-833HG 是微型 BA 儀表專用的控制單元。作為選件，還提供支持各種儀表、數(shù)據(jù)輸出等的擴(kuò)展板。

通過組合微型 BA 真空計和 TC 真空計（可選）并安裝自動切換真空計的自動燈絲，可以實(shí)現(xiàn)從大氣壓到超高真空的高精度真空測量。非常適合安裝高真空至超高真空設(shè)備。

自動化真空設(shè)備的壓力測量

濺射等工藝壓力的測量和控制

多室系統(tǒng)中的壓力測量

通用真空設(shè)備壓力測量

日本Anelva寬量程電離真空計高精度真空測量 M-833HG 規(guī)格參數(shù)

型號名稱M-833HG

測量球微型量規(guī)MG-2系列 

壓力顯示范圍0.1×10 -7 ～ 1.32×10 1 Pa  *1 

壓力顯示自動測量量程切換 

設(shè)定點(diǎn)2點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)裝備（集電極開路） 

數(shù)模輸出0 至 10 V：尾數(shù)輸出、指數(shù)輸出

0 至 11 V：復(fù)合輸出或?qū)?shù)輸出 

模擬輸出

（靜電計輸出）設(shè)置 APC 模式時（0.1 至 2.5 V）

設(shè)置正常模式時（0.1 至 1.6 V） 

外部控制功能

（遠(yuǎn)程操作）輸入 燈絲ON/OFF、

脫氣ON/OFF等

6種外部控制功能 

 輸出 6種狀態(tài)信號輸出 

特殊功能APC兼容：量程保持功能

靜電計輸出功能 

外形尺寸(mm)/質(zhì)量H99×W209×D330，1.9 kg（未安裝選件板） 

所需電源100 至 240 VAC *2

100 VA 或更少，50/60 Hz 

發(fā)射電流10μA、100μA、1mA自動切換設(shè)定或固定設(shè)定 

排氣柵極電流加熱方式 

燈絲開關(guān)按鍵和遠(yuǎn)程 I/O 操作 

燈絲保護(hù)超范圍設(shè)定點(diǎn)或發(fā)射電流 ±50% 變化