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日本RIX半導(dǎo)體行業(yè)用單口、多端口旋轉(zhuǎn)接頭 L40系列/MFES系列-該旋轉(zhuǎn)接頭是為半導(dǎo)體行業(yè)供應(yīng)純水和化學(xué)溶液而開發(fā)的,主回路采用非金屬材料,最大限度地減少金屬離子溶出到液體中。
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日本RIX半導(dǎo)體行業(yè)用單口、多端口旋轉(zhuǎn)接頭 L40系列/MFES系列 特點介紹
該旋轉(zhuǎn)接頭是為半導(dǎo)體行業(yè)供應(yīng)純水和化學(xué)溶液而開發(fā)的,主回路采用非金屬材料,最大限度地減少金屬離子溶出到液體中。
主通道采用非金屬材料,最大限度地減少金屬離子洗脫到流體中。
液體
純水、化學(xué)溶液等
該旋轉(zhuǎn)接頭也是針對半導(dǎo)體行業(yè)而開發(fā)的,在與液體接觸的部件上使用非金屬材料或涂層,從而可以創(chuàng)建一種最大限度地減少金屬離子溶出到液體中的結(jié)構(gòu)。
特點
可使用非金屬材料或?qū)右翰考M(jìn)行涂層,以最大限度地減少金屬離子溶出到流體中。
流體
純水、空氣、真空、泥漿等
日本RIX半導(dǎo)體行業(yè)用單口、多端口旋轉(zhuǎn)接頭 L40系列/MFES系列 規(guī)格參數(shù)
壓力(兆帕) 轉(zhuǎn)速(分-1) 端口數(shù)量
L40 1 600 1
壓力(兆帕) 轉(zhuǎn)速(分-1) 端口數(shù)量
MFES 1 200 2~
可使用非金屬材料或?qū)右翰考M(jìn)行涂層,以最大限度地減少金屬離子溶出到流體中。
流體
純水、空氣、真空、泥漿等
主通道采用非金屬材料,最大限度地減少金屬離子洗脫到流體中。
液體
純水、化學(xué)溶液等
該旋轉(zhuǎn)接頭也是針對半導(dǎo)體行業(yè)而開發(fā)的,在與液體接觸的部件上使用非金屬材料或涂層,從而可以創(chuàng)建一種最大限度地減少金屬離子溶出到液體中的結(jié)構(gòu)。
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