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日本日酸TANAKA液化腐蝕性氣體用壓力調(diào)節(jié)器 TANAKA日酸 TORR-2800●TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調(diào)整器的代名詞"的壓力調(diào)整器。
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日本日酸TANAKA液化腐蝕性氣體用壓力調(diào)節(jié)器 TANAKA日酸 TORR-2800 特點介紹
●TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調(diào)整器的代名詞"的壓力調(diào)整器。
●組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進行。
●在一次室的流路內(nèi)置過濾器,減少了內(nèi)部泄漏的發(fā)生。
●包括泄漏測試在內(nèi)的全部出貨檢驗。
●TORR-2800系列是用于大流量供給腐蝕性、液化氣體的調(diào)節(jié)器。
日本日酸TANAKA液化腐蝕性氣體用壓力調(diào)節(jié)器 TANAKA日酸 TORR-2800 規(guī)格參數(shù)
●使用材質(zhì)接觸氣體部主體:隔膜:壓力表:接頭:過濾器:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋子:調(diào)壓手柄:SUS3 16LNi-Cr-Mo合金SUS316L/Ni-Cr-Mo合金(SH系列)SUS316L、SUS316、氟樹脂/Ni-Cr-Mo合金、SUS316、氟樹脂(SH系列)C3604ABS樹脂、C360 4
●性能入口側(cè)最高使用壓:出口側(cè)最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內(nèi)置過濾器過濾過度:接觸氣體金屬部研磨粗糙度:出入口口徑:外部泄漏量:15MPa1.0MPa1,000L/min(或)(P1=4.5MPa、P2=0.4MPa、N2氣體)-5~40°C6.7kg20μm/10μm(SH系列)Ra 0.25μm1/2"1.3 10-10Pa m3/sec以下
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002