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日本日酸TANAKA負壓用壓力調節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤA10●S-TORR調節(jié)器是在半導體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調節(jié)器基礎上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調節(jié)器。
產(chǎn)品型號：S-TORRⅤA10廠商性質：經(jīng)銷商更新時間：2024-10-09訪 問 量：186
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日本日酸TANAKA負壓用壓力調節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤA10 特點介紹
●S-TORR調節(jié)器是在半導體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調節(jié)器基礎上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調節(jié)器。
●通過排除氣體接觸部的螺紋結構，標準實施電解研磨，實現(xiàn)了水分置換特性、顆粒減少。
●主體與接頭的連接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金屬密封結構。由于具有較高的外部密封性，即使在純度較高的氣體上也能放心使用。
●在一次室的流路內置過濾器，減少了內部泄漏的發(fā)生。
●包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗。
●STVA10系列支持負壓控制，可用于負壓供給低蒸汽壓的液化氣體的氣缸箱。
●從接觸氣體部排除彈簧，降低了顆粒發(fā)生風險。
●采用串聯(lián)隔膜式。
●作為腐蝕性氣體用，準備了在接觸氣體的主要金屬部分使用高耐腐蝕性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。
日本日酸TANAKA負壓用壓力調節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤA10 規(guī)格參數(shù)
●使用材質接觸氣體部主體:隔膜:過濾器:壓力計:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調壓手柄:SUS316LSUS31 6L/鎳鉻鉬合金（STVA10SH）SUS316L SUS316L、SUS316、氟樹脂/Ni-Cr-Mo合金、SUS316L氟樹脂（STVA10SH）C3604ABS樹脂、C36 04
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