PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本e-yamato超高純度調(diào)壓閥絕壓型分析儀 SRQ-1LA高鈍度氣體(純度99.999~99.99999%)和腐蝕性氣體的供應。消除了滑動部,抑制了微粒的產(chǎn)生。采用波形隔膜,實現(xiàn)壓力高靈敏度。外部硅片采用奧甲基硅片。
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日本e-yamato超高純度調(diào)壓閥絕壓型分析儀 SRQ-1LA 特點介紹
高鈍度氣體(純度99.999~99.99999%)和腐蝕性氣體的供應。
消除了滑動部,抑制了微粒的產(chǎn)生。采用波形隔膜,實現(xiàn)壓力高靈敏度。
外部硅片采用奧甲基硅片。
流動方向也可制作左側(cè)入口(左高壓)型。
適合負壓控制、低蒸氣。
可將正壓的入口壓力從真空減壓為正壓。
日本e-yamato超高純度調(diào)壓閥絕壓型分析儀 SRQ-1LA 規(guī)格參數(shù)
SRQ-1LA
一次側(cè)壓力(MPa)
0~0.99
二次倒使用壓力(MPa)
-0.1~0.4
使用溫度攝氏度)
-10~40(設計溫度:-10~7攝氏度)1/4
外部響應量(Pam/sec)
螺紋接合:1.01x10-以下焊接合:1.02x10-以下
接氣主本體
SUS316L
要部材質(zhì)
材算記號隔膜SUS316L
諾科脫明井材
PTFE
是P.476其他
SUS316L
過濾器粗糙度
40μm
質(zhì)量(kg)1.3
標準流量
/minNl)
15(Pl=1MPa.Pe=0.2MPa)
最大流
8/min(nor.e)
20(Pl=1MPa.P==0.2MPa)
消除了滑動部,抑制了微粒的產(chǎn)生。采用波形隔膜,實現(xiàn)壓力高靈敏度。
外部硅片采用奧甲基硅片。
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