PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類TECHNICAL ARTICLES
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日本YUTAKA絕壓型真空調(diào)節(jié)控制器L96系列 L96SS/L96SH/L96SS-COL96系列是專為半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計(jì)的具有真空可調(diào)結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。非常適合低蒸氣壓氣體?;窘Y(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范,使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。
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日本YUTAKA絕壓型真空調(diào)節(jié)控制器L96系列 L96SS/L96SH/L96SS-CO 特點(diǎn)介紹
L96系列是專為半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計(jì)的具有真空可調(diào)結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。非常適合低蒸氣壓氣體。
基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范,使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。
功能低壓1MPa以下
焊接規(guī)格金屬墊片管件調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)針型兼容氣體7種特殊高壓氣體
腐蝕性氣體有毒氣體
以外的氣體標(biāo)準(zhǔn)流量~60NL/分鐘
日本YUTAKA絕壓型真空調(diào)節(jié)控制器L96系列 L96SS/L96SH/L96SS-CO 規(guī)格參數(shù)
入口壓力 0.99MPa以下
調(diào)節(jié)壓力 -0.1MPa~0~0.2MPa
承受壓力 22.2MPa(進(jìn)口側(cè))
CV值 0.07
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法)
內(nèi)部容積 5.739cm(不含3個(gè)壓力表及接頭)
大量的 約1.6公斤
1/4"面對(duì)面密封接頭尺寸
(公母相同)…………………………約94mm
[備注]
■ 壓力表連接接頭的標(biāo)準(zhǔn)尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。
■ 進(jìn)出口接頭的類型、尺寸和形狀(外螺紋、內(nèi)螺紋)組合如圖所示??梢詮囊韵滤镜漠a(chǎn)品型號(hào)代碼表中進(jìn)行選擇。
■ 除UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對(duì)面尺寸可能與標(biāo)準(zhǔn)面對(duì)面尺寸不同。
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號(hào)和健云谷2棟10層1002