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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本syscom納米表面粗糙度形狀測量儀分析 TN-A1非常適合精密表面加工、CMP 加工的質(zhì)量評估和晶圓檢查
產(chǎn)品型號：TN-A1廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2024-10-08訪 問 量：203
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日本syscom納米表面粗糙度形狀測量儀分析 TN-A1 特點(diǎn)介紹
非常適合精密表面加工、CMP 加工的質(zhì)量評估和晶圓檢查
NanoSeven的光學(xué)配置采用光學(xué)外差干涉作為測量原理，通過分析兩束光束之間的相位差獲得的電信號進(jìn)行測量。安裝時(shí)無需隔振臺或真空設(shè)備，高度分辨率可達(dá)0.1 nm以下。幾乎無耗材，運(yùn)行成本低。
縮短測量時(shí)間：幾秒鐘內(nèi)即可測量Ra，提高良率
價(jià)格設(shè)定低：維護(hù)方便，幾乎無耗材
無需隔振臺，因此您可以安裝在任何地方
非接觸式測量：使用激光進(jìn)行非接觸式測量
寬范圍測量：即使是大樣品也可以自動(dòng)進(jìn)行多點(diǎn)測量
操作簡單：從測量到保存結(jié)果、輸出報(bào)告全自動(dòng)
高分辨率：采用光學(xué)外差干涉法，分辨率為0.1nm
日本syscom納米表面粗糙度形狀測量儀分析 TN-A1 規(guī)格參數(shù)
測量方法光外差干涉測量法
高度分辨率0.1納米
參考高度測量范圍0.5nm～300nm
標(biāo)準(zhǔn)出行金額X軸25nm / Y軸25nm
光源氦氖紅色激光（633nm）
物鏡放大倍數(shù)：20X，NA0.4
本體外形尺寸寬313×深614×高428
體重約27公斤
軟件虛擬儀器
夾具導(dǎo)電PET 180mm x 180mm
縮短測量時(shí)間：幾秒鐘內(nèi)即可測量Ra，提高良率
價(jià)格設(shè)定低：維護(hù)方便，幾乎無耗材
無需隔振臺，因此您可以安裝在任何地方
非接觸式測量：使用激光進(jìn)行非接觸式測量
寬范圍測量：即使是大樣品也可以自動(dòng)進(jìn)行多點(diǎn)測量
操作簡單：從測量到保存結(jié)果、輸出報(bào)告全自動(dòng)
高分辨率：采用光學(xué)外差干涉法，分辨率為0.1nm
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