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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本alnair-labs硅片厚度測(cè)量?jī)x光學(xué)檢查儀 Alnair Labs SIT-200高靈敏度實(shí)時(shí)測(cè)量硅襯底厚度 用于干涉測(cè)量的高速掃描高純度可調(diào)諧光源 波長(zhǎng)掃描方法可實(shí)現(xiàn)高靈敏度測(cè)量
產(chǎn)品型號(hào)：SIT-200廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2024-10-08訪 問(wèn) 量：234
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日本alnair-labs硅片厚度測(cè)量?jī)x光學(xué)檢查儀 Alnair Labs SIT-200 特點(diǎn)介紹
1、機(jī)械損耗低、機(jī)械滯后低
2.可制造長(zhǎng)行程產(chǎn)品。
3、維護(hù)方便
4、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不存在常規(guī)產(chǎn)品因卡膠而發(fā)生故障的現(xiàn)象。
氣缸滑動(dòng)部位通過(guò)小泄漏氣膜進(jìn)行潤(rùn)滑，滑動(dòng)阻力低，磨損極小。
5. 微壓操作
6、壽命長(zhǎng)
7、操作油缸部分采用CFRP（增強(qiáng)碳纖維管）制成，重量輕。
8. 抗不平衡負(fù)載能力
9. 氣缸桿可承受高負(fù)載（直線導(dǎo)軌）
10. 活塞部分使用滾珠襯套與線性導(dǎo)軌集成在一起
日本alnair-labs硅片厚度測(cè)量?jī)x光學(xué)檢查儀 Alnair Labs SIT-200 規(guī)格參數(shù)
測(cè)定対象物
シリコン基板
厚み測(cè)定範(fàn)囲
10~500 (n=3.5のとき)
μm
測(cè)定光源
波長(zhǎng)可變光源(1515~1585)
nm
光出力バフ一
0.6、クラス1
mW
ガイド用光源
赤色LD、 クラス1M
計(jì)測(cè)時(shí)間
最小20
ms
測(cè)定再現(xiàn)性
0.1以下 (3σにおいて)
μm
モ二タ出力
干涉出力信號(hào)
PO インタ一フエ一ス
Ethernet
電源電莊
AC 100-240(50/60 Hz)V
外観寸法(WxHxD)
364x 147x391mm
重量
9kg
工作溫度和濕度 20℃～25℃ 50%RH以下
可制造型號(hào) 懸臂式單作用，帶雙滾珠襯套
最小驅(qū)動(dòng)壓力 200pa（低摩擦規(guī)格） φ40用
漏氣量 90L/min以下（0.4Mpa時(shí)） φ40×200ST用（低摩擦規(guī)格）
滯后現(xiàn)象 平均0.6N φ40×200ST
位置負(fù)載能力 φ40×200ST 3430N（最大動(dòng)載荷）
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