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產(chǎn)品分類TECHNICAL ARTICLES
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UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S用于晶圓周邊曝光的 UV-LED 光源,與 g 線和 i 線抗蝕劑兼容。
聯(lián)系電話:13823182047
UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S
UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S
不僅可以安裝在新設(shè)備上,還可以方便地替換目前使用的UV燈光源。
配備UV-LED,可降低功耗,減少對環(huán)境的影響,延長光源的使用壽命,并且無需任何機械消耗部件,大大有助于降低客戶的運行成本。
光學設(shè)計實現(xiàn)了超過 7,000mw/cm2 的高輸出。它是處理厚膜抗蝕劑的理想選擇,以前需要大量的處理時間。此外,可以顯著縮短曝光處理時間,大大有助于增加處理的晶圓數(shù)量。
物品 | 內(nèi)容 |
---|---|
工作環(huán)境溫度 | 5~40℃(無凝結(jié)) |
電源電壓 | 單相100~240V |
工頻 | 50/60赫茲 |
發(fā)射峰值波長 | 365±5nm |
光輸出穩(wěn)定性 | ±5%以內(nèi) |
初始紫外線強度 | 2000mw/c㎡以上(at365nm,距離掩模版0.5mm) |
強度分布均勻性 | 10% 或更少(4 x 5 mm 面積) |
紫外光源 | 紫外LED |
UV光源壽命 | 20,000 小時(驅(qū)動電流下的預計壽命)* UV 強度為初始值的 50% 或以上時的累積點亮時間 |
照射ON/OFF功能 | UV-LED 開/關(guān)控制(通過遠程和手動控制開/關(guān)燈) |
光強調(diào)節(jié)功能 | UV-LED 電流調(diào)節(jié) 光強度調(diào)節(jié)范圍為 20 至 99% |
外觀材質(zhì) | 防銹的 |
外形尺寸 | 150(寬)×200(深)×192(高)毫米 |
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002